株式会社IFG/宮城県仙台市
生産用途向け大型設備、 研究開発向け特殊仕様機器に対応
● 最大2.5T
● 200 Lオーバー対応(1バッチ処理当たり)
● 高真空(10-5Pa以下)、N2、Ar、H2対応