ウェハ上に製膜された磁性膜の磁気特性を自動測定可能な装置です。ウェハカセットのセッティング後、ロボットアームにてウェハのピックアップ、セッティング、測定、測定結果の保存、ウェハの返却まで、全自動で測定が行われます。カセットのセッティング以外はオペレーターの手を要しません。
「膜厚1nmの薄膜も測定が可能な高感度ピックアップ」、「ウェハに均等な応力を印加可能な4点支持ナイフエッジ」に「二軸コイル」を組み合わせた構成により、一般的な単層膜から、スピンバルブ膜まで、様々な磁気特性を評価可能です。
