ウェハ上磁性膜の磁気特性を
全自動で測定
ウエハ用磁性評価装置IF-BH1K68
ウェハ上に製膜された磁性膜の磁気特性を自動測定可能な装置です。ウェハカセットのセッティング後、ロボットアームにてウェハのピックアップ、セッティング、測定、測定結果の保存、ウェハの返却まで、全自動で測定が行われます。カセットのセッティング以外はオペレーターの手を要しません。
「膜厚1nmの薄膜も測定が可能な高感度ピックアップ」、「ウェハに均等な応力を印加可能な4点支持ナイフエッジ」に「二軸コイル」を組み合わせた構成により、一般的な単層膜から、スピンバルブ膜まで、様々な磁気特性を評価可能です。
評価可能項目
- 飽和磁束密度 Bs
- 残留磁束密度 Br
- 保持力 Hc
- 異方性磁界 Hk
- 外部磁界 Hex
- 磁歪定数 λ
- 分散 α90、Δ90
- 容易軸方向
製品スペック
型 式
IF-BH1K68
対応ウェハ
- サイズ：6 inch, 8 inch（小サイズのウェハも特注で対応可）
- 厚さ：0.5～2.0mm
- 材質：ガラス、シリコン、Altic
磁 界
- 構成：二軸ヘルムホルツコイル
- バイアス磁界：最大DC 250 Oe または AC 100 Oe
応力印加
- 方式：4点支持ナイフエッジ
- 最大荷重：500 N
寸法
- 本体：W180 x D95 x H200cm
- 受電ユニット：W60 x D90 x H180cm
- キャパシタバンク：W90 x D80 x H180cm
- 冷却器：W40 x D85 x H90cm
- ロボットアームユニット：W60 x D95 x H190cm
- PCユニット：W60 x D90 x H120cm
※ ロボットアームを使用しないマニュアル構成の装置も製作可能です。